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  12betping台展示
各种gui格石英玻璃化工管道
石英玻璃管系列:﹙单wei:㎜﹚
1
qi炼透明石英玻璃管
zhi径5~350长度5~4000厚度1~30大
2
半导体yong高温tu层石英玻璃管
扩散、氧化、膜形cheng(CVD)工xu的高纯石英炉xin管
3
电光源yong无溴氧透明石英玻璃管
各种gui格
4
连rong石英玻璃管
各种gui格
5
电rong石英玻璃管
各种gui格
6
乳白石英玻璃管
各种gui格
7
耐高温石英玻璃化工管道
各种gui格
8
普通玻璃化工管道、反应fu通氯管
各种gui格
◆ 石英玻璃之洗jing方法
    石英玻璃在半导体工业设备上,shiyong温度经常在1000℃至1300℃之高温状tai,在此种状taixia由于附zhubu纯物导致失透现xiang发生,失透之部分为石英之晶质化,晶质化之变tai点为275℃,当石英玻璃自高温降至此变tai温度时,表面失透之晶质化部分yu石英玻璃本身高温之α相yudi温之β相jian膨胀系数bu同在急速冷却xiachan生bu透明之剥离状,geng严重时会zaocheng破裂现xiangchan生。为shi石英制品能shiyonggengjiu,就必须注意防止zaocheng石英失透chan生的原因,erzaocheng失透的污染源就shu碱金shu、碱tu金shu、汗shui、koushui、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2
就会zaocheng数shi倍或数bai倍的失透liang。
    因此,防止这xie污染源附zhu在石英表面上除liaobuzhi接yong空手去拿石英外,shiyong在高温作业之前必xian做清洗之工作以确保石英表面之jiejing度。
    一般石英之洗jing须要一xie程xu,首xianyong纯shuixian冲洗表面,zaizhiru酸洗槽内浸pao一xie时jian,取出后zaiyong纯shui冲洗后晾干。
    酸液之种类如xia:

种类/项mu
nong度
时jian
氟酸(HF)
47.0%~52.0%
1~2分钟
氟酸(HF)
5.0%~10%
10~15分钟
氟酸+硝酸
50%+65%
10~15分钟
氟酸+硫酸
50%+65%
10~15分钟
 
 
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